早期开发的变压吸附制氧设备的共同点有以下几个方面：（1）大多采用高于大气压吸附、常压解吸流程，吸附塔有两个到四个；（2）空气进入吸附塔前，经过脱水预处理；（3）设备可靠性差，不能连续稳定运行，导致大部分设备报废；（4）技术、经济指标落后。20世纪90年代是我国变压吸附制氧技术突飞猛进向前发展的时期，变压吸附制氧技术逐渐成熟。原理：空气经压缩机压缩，进入冷干机进行冷冻干燥，以达到变压吸附制氮系统对原料空气的要求。再经过过滤器除去原料空气中的油和水，进入空气缓冲罐，以减少压力波动。送至制氧机（内装制氧分子筛），空气在此得到分离，制得氧气。原料空气进入其中一台吸附器，产出氧气；另一台吸附器，则减压解吸再生。二台吸附器交替工作，连续供给原料空气，连续产出氧气。??深冷装置在低温下运行，运转机器较复杂，所以维修费用及颐养时间均比PSA装置多，并且深冷空分有运转周期，小型设备运行几个月就需进行加大温，用蒸汽对设备及管路进行吹扫解冻，加温解冻时间一般为36小时，停车时间较长。氧气送至拉气缓冲罐，经调压阀将压力调至额定压力；再通过流量计计量，氧气分析仪分析检测，合格的氧气备用，不合格氧气放空。进入制氧机时，空气应达到的要求：空气压力：≥0.55Mpa空气温度：≤25℃含油量：≤0.003PPm颗粒直径：≤0.01umVPSA与深冷空气制氧比较现代工艺流程一直改进，VPSA制氧装置是进20多年中发展起来并被市场所接受的技术，VPSA制氧技术开发的时间将更短。VPSA制氧设备流程比较简单，主要设备有鼓风机、吸附塔和一些阀门，而深冷制氧机流程复杂，主要设备包括空压机、过滤器、膨胀机、精馏塔、净化装置、一组换热器等许多装置。变压吸附制氧工艺具有以下优点：一是采用大气进气压差自动充压技术，减少鼓风机送风量，延长设备使用寿命，降低氧气制造成本。)