厂房变形缝不宜穿越洁净区洁净厂房建筑：①主体结构应采用大空间及大跨度柱网，不宜采用内墙承重体系。②厂房的围护结构宜选用保温隔热、防火防潮、少产尘的材料。③厂房主体结构的耐久性应与室内装备和装修水平相协调；厂房变形缝不宜穿越洁净区。④送、回风管和其他管道暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道、地沟等；穿越楼层的竖向管线需要暗敷时，宜设置技术竖井，其形式、尺寸和构造应符合风道、管线的安装、检修、防火要求。半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点废气工程：由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有***体。空压气体工程：螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。电子无尘车间净化方案:组合式空气处理机组冷水机组送风口电子无尘车间，尤其是十万级无尘车间常用于很多的工业部门，比如光学产品的制造；较小的元器件制造大型的电子系统；液压或气压系统的制造；食品饮料的生产；工业。对于常规电子厂房洁净室空调的设计，应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案。电子无尘车间净化方案：组合式空气处理机组冷水机组送风口。这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段，如混合段、出校过滤段、表冷段、二次回风段（或中间段）、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。)