OPTM反射率测试诚信企业「在线咨询」
大塚电子(苏州)有限公司主要销售用于光学特性评价?检查的装置。其装置用于在LED、OLED、汽车前灯等的光源?照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相关材料的光学特性评价?检查。欢迎新老客户来电咨询!测量示例:SiO2SiN[FE-0002]的膜厚测量半导体晶体管通过控制电流的导通状态来发送信号,但是为了防止电流泄漏和另一个晶体管的电流流过任意路径,有必要隔离晶体管,埋入绝缘膜。SiO2(二氧化硅)或SiN(氮化硅)可用于绝缘膜。SiO2用作绝缘膜,而SiN用作具有比SiO2更高的介电常数的绝缘膜,或是作为通过CMP去除SiO2的不必要的阻挡层。之后SiN也被去除。为了绝缘膜的性能和精准的工艺控制,有必要测量这些膜厚度。使用显微光谱法在微小区域内通过绝i对反射率进行测量,可进行高i精度膜厚度/光学常数分析。可通过非***性和非接触方式测量涂膜的厚度,例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。测量时间上,能达到1秒/点的高速测量,并且搭载了即使是初次使用的用户,也可容易出分析光学常数的软件如果膜厚测试仪已经进行了适当的校准,所有的测量值将保持在一定的误差范围内;根据统计学的观点,一次读数是不可靠的。因此任何由膜厚测试仪显示的测量值都是五次“看不见”的测量的平均值。这五次测量是在几分之一秒的时间内由探头和仪器完成的。)
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