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两酸抛光配方的行业须知 昆山韩铝化学
温度.对化学抛光的效率和表面质量有重要的影响.温度高抛光加速,但产生较多的气体,有可能产生气体缺陷.对于新配制的化学抛光槽液,温度不宜太高;若溶铝量达到平衡时操作温度宜高些.随着溶铝量的增加,要维持一定的抛光效率就要提高槽液的温度,如果槽液温度超过设定的上限温度105℃,仍不能得到满意的光亮度,应根据化验结果调整槽液浓度或相对密度.此外,还要注意保持槽液各处温度的均匀性.1、本抛光液在其使用初期会产生泡沫,因此抛光液液面与抛光槽顶部之间的距离不应≥15cm;2、不锈钢工件在进入抛光槽之前应尽可能将残留在工件表面的水分除去,因工件夹带过多水分有可能造成抛光面出现麻点,局部浸蚀而导致工件报废;3、在电解抛光过程中,作为阳极的不锈钢配件,因其所含的铁、铬元素不断转变为金属离子溶入抛光液内而不在阴极表面沉积。随着化学反应的进行,金属离子浓度会不断增加,当达到一定浓度后,这些金属离子以磷酸盐和***盐形式从抛光液内沉淀析出,沉降于抛光槽底部。因此抛光液必须定期过滤,去除这些固体沉淀物;4、在抛光槽反应过程中,除磷酸、***不断消耗外,水分因蒸发和电解而损失,此外,高粘度抛光液不断被工件夹带损失,抛光液液面不断下降,需经常往抛光槽补加抛光液和水;5、本产品中和后排放符合当今环保要求注意事项根据我公司长时间对抛光工艺的摸索与实践,光亮剂在抛光液中几乎消耗相当细微,因此时视具体的情况配比补加光亮剂,新配抛光溶液抛光时间要短;温度偏高时,抛光时间要短些,若抛光2min以上仍不光亮时,可观察抛光时液面泡沫的多少,酌情添加光亮剂,泡沫少时可按适当比例添加部份光亮剂,泡沫多时只要按比例加入磷酸和***即可。生产一段时间后的溶液呈乳白色且粘度大,所以化学抛光后的产品需要反复清洗,否则酸液残留于工件表面将会导致表面产生白霜点。这两个概念主要出半导体加工过程中,的半导体基片(衬底片)抛光沿用机械抛光、例如氧化镁、氧化锆抛光等,但是得到的晶片表面损伤是极其严重的。直到60年代末,一种新的抛光技术——化学机械抛光技术(CMPChemicalMechanicalPolishing)取代了旧的方法。CMP技术综合了化学和机械抛光的优势:单纯的化学抛光,抛光速率较快,表面光洁度高,损伤低,平整性好,但表面平整度和平行度差,抛光后表面一致性差;单纯的机械抛光表面一致性好,表面平整度高,但表面光洁度差,损伤层深。化学机械抛光可以获得较为平整的表面,又可以得到较高的抛光速率,得到的平整度比其他方法高两个数量级,是能够实现全局平面化的有效方法。)