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洁净室的定义洁净室的定义洁净室是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动的空间。其功能是控制微粒的污染。为了达到规定的洁净度级别,有效地控制微粒的污染,使人们在其中从事精密的生产和科学实验活动,洁净室是仅限于“洁净”,而必须是一个对冷热、噪声、照度、静电、微振都有相当要求的多功能的综合体,是集建筑装饰、净化空调、纯水纯气、电气控制等多种***技术于一体的产物。无尘车间系统室内的空气净化系统可分为水平层流,垂直层流和乱流,选择气流形式一则参照惯例,二则取决于房间的工作参数。无尘车间洁净度与换气次数房间的洁净度取决于单位时间的换气次数,因此慎密考虑房间的工作性质,以及生产工艺要求,再决定净化系统的技术参数。结构为了保证气流几乎不受干扰,就必须进行结构设计,必要的谨慎可以防止房间里任何地方的灰尘积。无尘净化车间设计方案要确定设计方案,必须先对房间的工作性质以及其中的气流条件进行认真的考虑,发尘量大的车间不宜采用地面送风形式,洁净度要求高的车间应尽可能远离其它车间。电子制造业洁净室的特点:洁净度等级要求高风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。换气次数一般性空调系统的换气次数每小时只需8~10次,而工业洁净室中的换气次数级别也要12次,级别则需几百次,显然,换气次数的差别造成风量能耗的巨大差异。设计中,在洁净度准确***的基础上,要保证足够的换气次数,否则运行结果不达标,洁净室抗干扰能力差,自净能力相应加长等等一系列问题就得不偿失了。静压差不同级别的洁净室与非洁净室之间不能小于5Pa,洁净室与室外不能小于10Pa等等一系列要求。控制静压差的方法,主要是供给一定的正压风量,设计常采用的正压装置为余压阀、压差式电动风量调节器和回风口处装设空气阻尼层。近年来,设计中常采用不设正压装置而在初调试中,使送风量大于回风量和排风量的方式,并相应配设自动控制系统也能达到同样效果。)
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