由于光学玻璃具有硬度高、脆性大的特点，在加工过程中极易产生表面疵病与亚表面损伤，属于典型的难加工材料。其超光滑表面成形技术及低成本加工工艺技术已经成为科技、航空航天、电子信息等领域急需研究的重要课题。对于光学玻璃等硬脆材料，超精密磨削技术是实现超光滑表面的手段。因此，美国、德国、日本、英国等工业发达***，对光学玻璃等硬脆材料的超精密磨削加工技术的研究十分活跃，已开发出***的高刚度磨床，用于硬脆材料的超精密加工技术的研究，并且相关科研成果被应用于及民用工业领域。近年来，光学玻璃等硬脆材料超精密磨削装备及工艺技术研究已被列为***资助的科研内容。主要结构特点1）高刚度高稳定性床身床身采用整体花岗岩结构，由于花岗岩具有高阻尼、小振动、热稳定性佳等特性，可以保证磨床高刚度和高稳定性。2）工作台工作台面采用整体花岗岩结构，在传统闭式静压导轨的基础上开发了高刚性、gao精度的大平面闭式静压导轨，以实现工作台的大行程、平稳、可靠的往复运动。工作台采用SIEMENS直线电机进行驱动，同时为了防止直线电机的运动影响台面，专门为直线电机设计了***的静压导轨。台面的运动状态由HEIDENHAIN光栅系统进行闭环控制，从而保证了工作台具有gao精度、快速响应的运动特性。gao精度平面磨床总结减少磨削加工缺陷的措施主要有以下几点：1、选择合理的磨削用量，采用径向进给量较小的精磨方法甚至精细磨削如适当减少径向进给量及砂轮速度、增大轴向进给量，使砂轮与工件接触面积减少，散热条件得到改善，从而有效地控制表层温度的提高。2、选择合理的修整砂轮采用白刚玉的砂轮较好，它的性能硬而脆，且易产生新的切削刃，因此切削力小，磨削热较小，在粒度上使用中等粒度，如46～60目较好，在砂轮硬度上采用中软和软，即粗粒度、低硬度的砂轮，自励性好可降低切削热。)