加工精度以纳米，甚至终以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，切削加工方法已不能适应，需要借助特种加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超越原子间的结合能，从而去除工件表面的部分原子间的附着、结合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。精密零件加工的车床属于精密加工机械，有分为普通车床、自动车床、仪表车床和电脑车床。它通过将材料夹持住后进行回转运动，由车刀进行径向或轴向的加工。现在自动车床和电脑车床的应用越来越广泛。因为这两种都是全自动加工，将人为操作产生的精度误差降到了底点，而且加工速度快，用于大批量生产。现在的电脑车床大部分都配有侧面回转刀具和背面回转刀具，就是说车床上也能进行铣削加工。)