净化车间隔间分为三大部分净化车间隔间分为三大部分,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区,千级区和百级区均设风淋室(airshower),净化车间与室外设有物品出入通道传递箱(passbox).当人员进入净化车间时,首先要经过风淋室,对***所带的灰尘吹淋,减少人员带入净化车间的灰尘.传递箱则是对物品灰尘进行吹淋,达到落尘的效果。千级区过滤器采用HEPA,过滤效率99.997%,百级区过滤器采用ULPA,过滤效率99.9995%。洁净室(区)内设置真空泵时,应符合下列规定洁净室（区）内设置真空泵时，应符合下列规定：1．电子工厂装修对于传输、自燃***或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。2．对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过下限的20%时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分。3．使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统。工厂装修洁净室入口宜设空气吹淋室工厂装修洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时，应设气闸室。空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室，宜设气闸室。空气吹淋室的进、出门不得同时开启，应采取连锁控制措施。单人空气吹淋室，应按班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设单向旁通门。不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa。工厂装修洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa。电子厂房装修步骤中要还要注意的有装修中结构材料的选择也是很重要的，电子厂房装修步骤中要还要注意的有1、净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、强度高。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。2.地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防静电要求的可选用防静电型。3.送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。4.送风口用不锈钢或塑钢框架美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘宜清洁。)