真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。工业环境中的粉尘是以粉状体、眼无题、粉尘来区分的。粉状体是粉末或固体颗粒的集合或分散状态的物质。所谓粉末是指微小的固体颗粒的集合，而颗粒是指能够一个一个计数的微小物质。烟雾体是以固体或液体的微小颗粒呈浮状态存在于气体中的物质体系。硅橡胶经ParyleneCoating后可以在硅胶按键产品的表面形成的一种均匀而极薄（2-3μm）、且与原产品表面轮廓相一致的聚合物保护层。物质无论是固体还是液体，凡是呈颗粒状态均可统称为尘粒。以尘粒直径的大小来确定空气清洁度的标准，从而定制出洁净室的等级。不仅适合于有洁净要求的工业部门，也适合于真空对洁净环境的要求。一、镀膜作业步骤:1.镀膜前洗净。2.抽检镜片外观确认(裂边,伤痕,不洁)情况,全检镜片锁板情况(镜片倾斜）。3.确认好准备镀膜的镜片(数量,机种,面别)并做好相应记录。4.上伞,将镜片从包装盒内装到镀膜机台伞架上(主意带手套拿取镀膜板四周,勿碰到镜片。5.区分需要镀膜镜片种类面别。6.清洁坩埚电子枪周围用铜刷刷,吸,并添加***。7.确认晶振片,监控片是否OK在新的位置。8.确认机台内无杂物,后关门排气加热。9.镀膜选取相应的制程。后者是采用化学还原法，必须把膜材配制成溶液，并能迅速参加还原反应，这种镀膜方法不仅薄膜的结合强度差，而且镀膜既不均匀也不易控制，同时还会产生大量的废液，造成严重的污染。10.人员镀膜过程中进行监控。11.下伞，将镀膜后的镜片从伞架取下,放入包装盒。12.抽检，主要为膜点,雾状,颜色异常,不洁。13.光谱测量采用奥林巴斯反射测定仪和U4100分光光度计。14.伞架每圈抽1PCS共5圈。15.膜强度测试(采用3M胶带粘拉膜3次)。16.光谱量测OK后可送出。针对印刷线路板、混合电路的涂层防护是Parylene普及的应用之一，它符合美国军标Mil-I-46058C中的XY型各项指标，满足IPC-CC-830B防护标准。在盐雾试验及其它恶劣环境下仍能保持电路板的高可靠性，并且不会影响电路板上电阻、热电偶和其它元器件的功能。当经过多次镀膜时，真空镀膜室的内衬板还需作定期清洗，一般是半个月清洗一次。电子元件和电路组件的共形涂层必须满足电绝缘和环境防护要求。不断小型化的电子产品对绝缘涂层的性能提出了更高的要求，部分原因是涂层机械体积与电路功能之间的关系，绝缘性涂层更重要的特点是涂敷的完整性和均匀性，以及它在物理、电气、机械、屏蔽方面的性能。光学镀膜是在光学干涉原理，在可见光和红外线波段范围内，使反射率在78-98%之间，以达到透光率，光学镀膜技术一直是光学领域中不可忽略的重要基础技术。)