湿度控制是无尘车间生产必需具备的重要条件湿度控制是无尘车间生产必需具备的重要条件，相对湿度是无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。近年，在这些规定范围中保持处理空气过程,天津净化工程为大家介绍一下相对湿度有一系列可能使洁净室总体表现下降的因素，其中包括：1、***生长;2、工作人员感到室温舒适的范围;3、出现静电荷;4、金属腐蚀;5、水汽冷凝;6、光刻的退化;7、吸水性。无主送风管和专用空调机房,降低***气流无主送风管和专用空调机房，降低***气流在回风夹道和风机室内流动，空调机也装在回风夹道内，不需要专用空调机房，回风夹道除了安装空调外，同时也可作检修和工艺通道。空调机送风的特点是送风压力底，冷风由空调机送出直接进入风机室，除了冷风管自身的阻力外，没有其他阻力损失，特别是冷风管的出口端，风机箱形成了一定的真空度，更有助于冷风管克服送风阻力。由于冷风管所受压力很底，所以冷风管可选用质量较轻成本较底的薄型塑料或金属软管。整个空气循环系统除了少量起辅助作用的冷风管，其他主风管及管阀件者可省略。整个洁净室无主风管也无专用空调机房，气流通道借助洁净室墙壁和围护壁板构成。空调机价格便宜，运行可靠，安装方便，因此可以节省工程***和缩短建设周期。洁净室的平面布局有哪些洁净室的平面布局洁净室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。洁净室的平面布置可以有以下几种方式：外廊环绕式：外廊可以有窗和无窗，兼作参观和放置一些设备用，有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。内廊式：洁净室设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的洁净度级别一般都较高，甚至和洁净室同级。两端式：洁净区设在一边，另一边设准洁净和辅助用房。核心式：为了节约用地、缩短管线，可以洁净区为核心，上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来，这种方式避开室外气候对洁净区的影响，减少了冷热能耗，利于节能。◆电子制造厂万级洁净室内的噪声级（空态）：不应大于65dB(A)◆电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。◆电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa◆电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的值：◆补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。◆保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。◆电子制造行业洁净室净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量，应取下面三项值：1：保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量；2：根据热，湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量；3：向电子制造厂洁净室给的新鲜空气量。)