无尘室的维护与管理无尘车间是污染控制的基础，是一间具备了空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。在无尘室极高的硅晶片制造链中，必须是一个无污染源的环境、超洁净的车间，硅晶片零件才能够正常批量生产。无尘室的维护与管理正确、合理的设计是保证无尘室稳定运行的前提，在实际使用中，不正确的维护操作和不规范的管理都会使无尘室的空气洁净度降低，造成无尘室指标达不到要求。我国的无尘室发展起步与国外相比较晚，近二十年来，随着越来越多外企在国内开办或合资开办企业，一些高新技术对生产环境的要求提高，为了提升竞争力，各个行业也开始追求无尘室的质量。净化工程中，空调系统是重中之重。可以说空调系统质量的好坏，就关系到了无尘净化室洁净效果的好坏。无尘室空调系统主要有哪些特点？什么样的空调系统才适宜用在无尘净化工程中呢？1.净化空调的过滤系统极强2.净化空调系统温湿度精度高3.净化工程空调系统风大4.严格控制正负压5.净化空调系统风机风压头要高6.采用变频技术7.相当的稳定性和可靠性千级无尘车间的概念按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。控制在一个非常微量的单位上。这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于，这样的高标准主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。无尘车间送风方案：集中式净化空调系统设置值班风机的系统。当净化空调系统间歇运行时，为防止系统停运后室外污染空气通过围护结构的缝隙或从新风口进入洁净室，可以设置值班风机。并联的集中式系统。当一空调机房内布置多个集中式净化空调系统时，可将几个系统并联，只设一个新风热湿处理系统。这样做可以减轻每个集中式净化处理室空调系统的冷负荷与热负荷，而且运行比较灵活。)