半自动探针台EG1034EG1034是ELECTROGLAS公司生产的用于半导体晶片在片测试的经典半自动探针台，采用平面电机、气悬浮无摩擦、高精度移动。适用于安装各种探针架。拨动开关半自动控制chuck的左右(X)和前后(Y)的步进，手动调节上下(Z)方向。可以安装选件SuperD以便于电脑控制。可以安装选件探边器和打点器便于自动换行和筛选。{)lLP5v­?­?主要特点：配合选件SUPERD控制模块可以直接进行电脑控制；可测片径：3″--6″；@a)EK``@7aS3X-Y工作台行程：150mm×150mm；电源：110V/220V，50/60Hz；|9hqAT1e.s2GY­S7hi5压缩空气压力:80p.s.i；k5tyaySm4k;\r6功耗：<100W；步进***小尺寸：&plu***n;5μm。精度：X、Y轴150mm全尺寸误差小于6.35μm。Allwin21经营的半导体设备有快速退火炉RTP（保护气氛热处理炉）Allwin21AG610、Allwin21EG2001/2010/1034探针台;HP4062/HP4145测试仪;AW-PCM测试软件；半自动探针台EG1034/MP2020；PECVD等离子增强化学气相淀积系统STS310PECVD_allwin21等.公司在北京、南京、广东等地设有办事机构，致力于为客户提供完善的服务与支持。欲了解详情，请登陆我公司网站.（Email:peterchen@))