高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室***和其他生物污染(霉菌，病毒，***，螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。在相对湿度处于40%至60%的范围之间时，可以使***的影响以及呼吸道降至。相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤，呼吸道不适以及情感上的不快。高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室表面的静电荷积累，较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有***性的静电释放源。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的而加快。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。幸运的是，一些金属，例如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应;但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有保护能力的，因此，在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。结构模式利用普通空调机直接向空气主流区送冷风改造洁净室的原理结构模式利用普通空调机直接向空气主流区送冷风改造洁净室的原理图.洁净室建立在旧厂房内，房间高度为3m，洁净室壁采用夹芯彩钢板构筑，高约2.4m,洁净室顶部为风机室,高约0.6m,其中装有风机箱。风机室的四周全部封闭，设有向内通风的中效过滤进风口。风机装在风机箱内，其下部是静压箱和过滤器。洁净室的下侧没有回风初过滤器，洁净室的外侧是回风夹道，回风夹道相互连通，其中至少有一个分体式分体空调机。空调机可先用普通柜式分体空调机，其出风口装有导流罩和冷风管，冷风管另一端装在风机室内。一般情况下普通空调的送风机可将冷风送到15m以外，基本能满足一般中小型洁净室的使用，当送风距离较远时，可在冷风管上加装风机以增加送风压力。必须注意的是导流罩和冷风管须作保温处理。普通柜式分体空调机的室内机的厚度一般在0.25m~0.35m(空调机制冷量5000W~15000W)考虑到导流罩的宽度,回风夹道的宽度可做成0.5m~0.7m。当选用壁挂式空调时，该回风夹道的宽度还可减小，其余回风夹道的宽度可做成0.1m。这样，洁净室的设计可地利用建筑空间。技术竖井如果说技术夹道(墙)往往不越层,则需要越层时即用技术技术竖井如果说技术夹道（墙）往往不越层，则需要越层时即用技术竖井，并且经常作为建筑结构的一部分，具有性。由于技术竖井把各层起来，为了防火，内部管线安装完成后，要在层间用耐火极限不低于楼板的材料封闭，检修工作分层进行，检修门必须设防火门。不论技术夹层、技术夹道还是技术竖井，当直接兼作风道时，其内表面必须按洁净室的内表面的要求处理。机房位置空调机房靠近要求送风量大的洁净室，力求风管的线路。但从防止噪声和振动来说又要求把洁净室与机房隔开。)