净化技术的设备发展美国在台湾的T***CS新厂已建成第四代管道式洁净室总面积达10000平方米。空气净化是指针对室内的各种环境问题提供杀菌消毒、降尘除霾、祛除***装修残留以及异味等整体解决方案，提高改善生活、办公条件，增进身心健康。我国使用的0，1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵，0.1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。在大规模集成电路制造装备的***中洁净厂房占有相当高的比例，这与集成电路工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应，严重制约了大规模集成电路技术的发展。)