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金刚石线切割设备金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势,本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况,并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。目前,硬脆性材料,如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等,具有优良、稳定的物理和化学性能(如耐磨损性、抗腐蚀性、电绝缘性等),在电子、光学及其它领域得到广泛应用,特别是单晶硅、多晶硅、陶瓷材料被广泛用于太阳能光伏产业、半导体、真空电镀等高精端产业中。伴随半导体、光伏材料技术的发展,需求量不断增加,切割加工量大幅增长,由于硬脆材料硬度高、脆性大,因此加工难度较大。而金刚石线切割不存在导电的问题,其加工精度和粗糙度都大幅提升。金刚线切割技术金刚线切割技术也被称为固结磨料切割技术。它是利用电镀或树脂粘结的方法将金刚石磨料附着在钢线表面,将金刚线直接作用于硅棒或硅锭表面产生磨削,达到切割的效果。金刚线切割具有切割速度快,切割精度高,材料损耗低等特点。切割线的技术突破是硅片加工成本下降的重要途径。金刚石线切割速度是普通钢线的2倍,因此单位产量的折旧、人工和能源成本将降低一半。线切割速度线切割过程中的速度调整:若设置的线切割速度与实际切割速度不匹配容易发生夹线,进而使金刚石线断开,切割速度的设定没有具体规定,一般根据经验选择。郑州元素工具以技术为导向,拥有多项专利技术,积极与各科研院所,企***及高校以各种方式合作,代表行业***科研水平。切割过程中当发现所选用的速度过大时可进行适当的调整,速度的大小可根据金刚石线出现弧度的速度进行调整,若切割过程中金刚石线几乎一直处于平直状态,说明所选用的切割速度还可以适当增加,直到调整到金刚石线的弧度状态一直保持不变的,说明所选用的切割速度适于材料的切割)
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