洁净室检测检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计，至少要检查下列各点:1、洁净室设备的成套性;2、一切能源载体和工艺介质的供应(水、电、蒸汽、压缩空气、气体等)是否符合设计;3、公用和辅助设备功能运转是否正确;4、所以控制系统，监控器，报警和警报器等的检定(检查)日期;5、安装质量;6、安装过滤器(***终过滤器)的完整性;7、电源和设备是否有备份，其中包括空气处理设备的风量余量;8、压差;9、气流特性(单向气流--流速，均匀性和气流方向);10、维护结构的密闭性;11、检查循环空气与室外空气的比例是否符合设计;12、表面洁净度;13、包装中是否有备件。检查HEPA(ULPA)过滤器的完整性具有重要意义，此项检查对ISO6级、ISO5级及更别的洁净室来说尤其必要。应检查表面洁净度及维护结构的密闭性(对ISO1级~ISO5级的洁净室特别重要)。化原***流→初效空气处理→空气调节→中效空气处理→风机加压送风→净化送风管道→***送风口→洁净室→带走尘埃(***)→回风夹道→新风、初效空气处理。重复以上过程，即可达到净化目的。技术参数换气次数:十万级10-15次/小时;万级15-25次/小时;千级50-52次/小时;百级操作台断面风速0.25-0.35m/s;压差:主车间对相邻洁净房间≥5Pa;洁净房间对非洁净区≥10Pa;温度:冬季gt;16℃±2℃;夏季lt;26℃±2℃;新风补充量:总送风量的20%-30%;)