净化工程洁净室的复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。(2)洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为***适宜使用。净化洁净工程送风量、换气次数器械净化工程-无菌洁净室工程设计阶段对送风量的确定，首先要满足相应洁净度级别的换气次数要求，同时还要通过热、湿负荷校核来进一步确定风量，在此基础上对gao效过滤器进行选用。***、食品业界及半导体业界均适用。无尘车间等级划分无尘车间等级划分半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些***的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在半导体工半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些***的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。为了让这些***的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在无尘车间内进行，集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的***，多因为需要一个无尘车间。净化工程——无尘车间所谓的无尘车间是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路技术的快速成长，也增加了对制造环境(无尘车间)洁静度的需求，在工业上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。由于奈米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断的增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。什么是净化工程净化工程是指将一定空气范围内空气中的微粒子，***空气，xi菌等污染物排除，并将室内的温度，洁净度，室内压力，气流速度于气流分布，噪音震动及照明，静电控制在某一需求范围内，这样的一个过程叫净化工程。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。)