利用新纳米技术开发的功能金属氧化物薄膜材料（FunctionalThin-FilmMetal-OxidesMaterials，具有优良的电磁传导、物理化学和机械性能，可广泛应用于节能照明、显示电子、化合物检测、柔性透明和气体传感等领域，具有开启后硅基半导体电子新时代的巨大潜力。欧盟第七研发框架计划（FP7）提供980万欧元资助，总研发投入1340万欧元，由欧盟8个成员国德国（总协调）、英国、意大利、比利时、荷兰、葡萄牙、希腊和斯洛文尼亚，微纳米电子工业界联合科技界组成的欧盟微纳米电子技术平台（ORAMAETP）。所谓粉末是指微小的固体颗粒的集合，而颗粒是指能够一个一个计数的微小物质。在建立紧密合作型研发创新公私伙伴关系（PPP）的同时，将长期致力于功能金属氧化物薄膜材料的研制开发及商业化推广应用。***器材作用：防锈、防腐、防霉、防***、润滑Parylene是一种具有化学惰性又有良好的生物相容性高纯涂层材料，已经通过美国FDA认可，用于各类体内植入，经它涂敷的器件可改善表面润滑型、生物相容性、提高可靠性。Parylene的生物兼容性及其生物稳定性使其能够提供良好的防潮、防化学和介电保护。抽真空：将真空室内的残余气体抽走加热烘烤：炉体和工件同时加热，加速残余气体的释放压升率测试：测试炉体的漏气率和放气率轰击清洗：去除工件表面的杂志，露出新鲜表面镀膜：沉积膜层冷却：避免工件氧化变色。涂敷薄膜的摩擦系数低，因而可以应用于需要润滑的地方。派瑞林涂覆加工生产故障是每个派瑞林涂覆企业都会遇到的问题，排除故障是派瑞林涂覆技术人员的重要职责。派瑞林涂覆实践出真知，PVD镀膜生产的实践性很强。带钢镀膜质量好，能获得均匀、平滑且极薄的镀膜，镀膜纯度高，耐蚀性和附着力好。要在调控PVD镀膜生产的全过程中做到遇障不惊，PVD镀膜的途径就是在生产实践中摸爬滚打、坚韧实干善于思考，不断探索和积累等。真空镀膜加工表面的清洁处理非常重要，直接影响到电镀的产品品质。另一种方法是用环氧树脂材料进行电泳涂敷，但电泳涂敷时工件表面必须有一挂点，挂点的修补不仅费工费时，而且质量难以保证，而Parylene涂层技术可控制涂层厚度进行无支点全涂敷防护。加工件进入镀膜室前一定要做到认真的镀前清洁处理，表面污染来自工件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物，为了避免加工过程中造成的不良，真空镀加工厂家基本上可采用去油或化学清冼方法将其去掉。对经过清洗处理的清洁表面，不能在大气环境中存放，要用封闭容器或保洁柜贮存，以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底，可使碳氢化合物蒸气的吸附减至小。膜厚稳定性好，由于溅射镀膜膜层的厚度与靶电流和放电电流具有很大的关系，电流越高，溅射效率越大，相同时间内，所镀膜层的厚度相对就大了，因为只要把电流数值控制好，需要镀多厚，或者多薄的膜层都可以了。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。真空镀膜加工对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，一般应贮存在真空干燥箱中。)