什么样的空调系统才适宜用在无尘净化工程中呢？净化空调系统温湿度精度高，普通空调的舒适性要求一般精度有限。但无尘车间的空调为了满足工艺要求，应对不同的温度和湿度差异要求，净化系统空调的温度和湿度的精度要求非常高。必须保证无尘室内恒温恒湿。而且空调机组还需有制冷加热、加湿除湿这些功能，而且必须精密调控。***洁净***部的电气系统，强电系统，动力系统（空调冷源、净化空调机组设备用电）照明系统（照明电器、普通插座、吊塔设备用电）应急系统（UPS电源、双电源切换）***室电气系统组成：***室配电：总电源—采用双电源切换；配电箱—每间***室***设置；IT隔离变压器系统；UPS不间断电源；等电位接地系统；洁净灯具、开关、插座；管线、桥架。空调系统配电：总电源—采用双电源切换；配电箱—每台空调机组***设置；变频器；管线、桥架。洁净工程中的温湿度操纵，清洁室内空间的温湿度主要是依据工艺规定来明确，但在考虑工艺规定的标准下，应充分考虑人的舒适感感。伴随着气体洁净度等级规定的提升，出現了工艺对温湿度的规定也愈来愈严的发展趋势。实际工艺对温度的规定之后也要例举，但做为总的标准看，因为加工精度愈来愈细致，因此对温度起伏范畴的规定愈来愈小。比如在规模性集成电路芯片生产制造的光刻曝出工艺中，做为掩膜板原材料的夹层玻璃与硅单晶的线膨胀系数的差规定愈来愈小。)