金属蚀刻的加工过程:1，金属蚀刻工艺流程一：每件金属钣，上下两面，均要干净，除油，因为任何不洁表面均影响黏膜贴在金属之可靠性。清洁后之金属两面再贴上干膜，(Photo-resist)(此光反应材料***于某光波段之光线中会塑性化，并产生对无机体溶液如酸液类防蚀作用)。2，金属蚀刻流程之二：***然后，双面蚀刻金属钣需小心夹放于两层照相负片(光工具)中，而单面蚀刻则需放于光工具之下。利用加压或抽真空把之夹紧，存放在适当光线中***，此举令曝露之黏膜塑化，黏膜对化学光(ActinicLight)是有反应，惟在***光线，反应甚微，***时间长短视乎光源强弱，黏膜剂种类等因素而定。光工具工艺从用放大倍数比例绘制图案草稿开始，把尺寸准确校正，再缩回原比例，此举为便于控制尺寸精度，根据图样制造一底一面负片，再把金属钣牢牢夹于其中，若工件尺寸细小，要求在特定面积金属钣上蚀出若干件数时，可采用重迭排放机把影像重复摄制在负片上。至于上下负片如何保证校正影像，便是此工艺之窍门。3，金属蚀刻之三：显影冲洗影像显影工作是通过浸涤或涂喷特定显影剂，显影剂把***部份之黏膜溶解，剩下塑化部份。4，金属蚀刻之四：烘干：显影后之金属钣经第二次烘干。5，金属蚀刻之五：蚀刻金属板放入蚀刻机中把显影后露出金属之部份蚀刻，干膜部份受保护，不获蚀刻。此工序是整个生产制程是重要的工序之一。腐蚀剂有多种种类，例如氯化铁，HF和水之混合物便是应付钢和合金铜的腐蚀剂，某些金属是需用碱性的腐蚀剂。金属蚀刻的缺陷：当金属面受蚀刻时，其黏膜边位置亦会稍微凹陷，故蚀刻出来之剪切边并不是百分一百垂直的。所以蚀刻后之尺寸是跟影像尺寸略有些微差别，外围尺寸缩而内围尺寸扩大，内尖角位置是会变成小圆角，这些毛病是要经过矫正后方后达至预期之精密度，另外矫正尺寸变化亦可在预留图案草稿中进行。当然，重要因素还是倚靠累积经验，才能控制准确精密度。6，金属蚀刻工艺流程之六：剥脱、清洗、晒干清除蚀刻后钢片上的干膜，清洗再烘干，整个蚀刻工艺流程完成！金属蚀刻加工可以加工SUS304不锈钢牌号的不锈钢，也可以加工诸如SUS316不锈钢，铜，黄铜，铍铜，MX215等合金材料。304不锈钢材料的应用为广泛，因为这种材料本身的抗腐蚀性能比较强，蚀刻加工完成之后的产品，不论是产品的尺寸，精度还是表面都能够完全符合客户的要求。金属蚀刻加工的特点：1.目标性。所谓目标性，就是通过某一工艺流程的全过程有一个明确的输出，或者说要达到某一特定的目的。对于金属蚀刻加工而言，这个目的就是满足其设计图纸对产品的要求，更加具体的说，这些要求包括产品的蚀刻尺寸要求，经蚀刻后的表面粗糙度要求等。2.内在性。所谓内在性，是指一个公益流程必须要有其内在的特定内容，也可以说是内容的真实性。这些内容包含于工艺流程的每一个步骤中，以及参与这些步骤的所有操作者的行为过程。3.整体性。所谓整体性，是指工艺流程中至少要有两个或两个以上的工序组成。因为作为流程而言的工艺流程不可能是由一个加工步骤来完成的，同时一个加工步骤也无法在工艺流程中完成流转，至少要两个或两个以上的步骤及其相关活动才能建立起一个基本的结构或者关系，才能进行流转。对于金属蚀刻加工工艺而言，也是由多个工序、各工序的工艺参数、各工序规定的工具及其相关设备组合而成的一个完整的工艺规范统一体，并且相互之间是不可分割的。兴之扬咖啡机不锈钢网片小编来向大家说说干式蚀刻时主要须注意的方面有哪些？干式蚀刻时主要须注意蚀刻速率、均匀度、选择比及蚀刻轮廓等。蚀刻速率越快，则产能越快，有助于降低成本提升竞争力。蚀刻速率通常可由气体种类、流量、电浆源及功率等所控制，一般而言，在其它因素尚可接受的范围内，蚀刻速率越快越好。均匀度是晶圆上不同位置蚀刻差异的一个指标，均匀度越好意谓着有较佳的良率，当晶圆尺寸越来越大，均匀度的控制就显得更加重要。控制选择比通常与气体种类与比例、电浆源及功率、乃至于反应温度均有关系。蚀刻轮廓一般而言以接近90度为佳，除了少数特例，如接触窗(ContactWindow)或引洞(ViaHole)，为了使后续金属溅镀能有较佳的覆盖能力(StepCoverage)，因而故意将其轮廓蚀刻成小于90度的型态。而通常蚀刻轮廓的控制可藉由调变气体种类与比例、电浆源及功率等来进行。)