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净化车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合***送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。高水平的安徽洁净车间净化生产工艺对洁净室的生产环境要求非常严格。电子厂特别是微电子和光电行业的电子厂,对大面积云南洁净车间净化的生产环境要求不仅是:建筑围护结构、结构、空气、水、气、溶剂等原料,而且还要有声、光、电、磁、振等环境。如:建筑形式、承重高度、围护结构等装饰材料;空气清洁度、温湿度、静压;水、气的纯度和***含量以及噪声、光照、静电、电磁波、微振动等。净化车间门窗固定缝隙(一类和三类)的处理:此类缝隙查的安装缝隙不仅在每樟净化车间门窗当今相对数量较少,而且樘与洞口的结合经装修后比较隐蔽,是比较容易密封的间定缝隙。棱与洞口周边连接应牢固,不仅是密闭净化车间门窗,还是一般净化车间门宙构造的要求,由于净化车间门的受力大而猛,在净化车间门程的固定中尤应注意程及其洞口周边的固定点是否牢固稳定,但对密闭净化车间门窗来说,还必须强调膛与净化车间门洞或宙桐间的缝隙中填塞密实,而后覆盖以室内和室外的墙面装修层就可基本保证这类缝隙的气密性,第二类固定缝隙即玻璃或其他芯板的安装缝隙。在一橙净化车间门的缝隙数量中相对所占比例较小,但在一膛宙的构造缝隙中却往往是主要部分,特别是对于外宙,它们暴露在大气中,受室外气候的影响,须慎重处理,一方面要尽量减少芯条玻璃安装缝隙,一方面要慎重选择设防构造。)
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