(3)蒸发或溅射出来的制膜材料，在与待镀的工件生成薄膜的过程中，对其膜厚可进行比较的测量和控制，从而保证膜厚的均匀性。(4)每种薄膜都可以通过微调阀地控制镀膜室中残余气体的成分和质量分数，从而防止蒸镀材料的氧化，把氧的质量分数降低到的程度，还可以充入惰性气体等，这对于湿式镀膜而言是无法实现的。(5)由于镀膜设备的不断改进，镀膜过程可以实现连续化，从而大大地提高产品的产量，而且在生产过程中对环境无污染。(6)由于在真空条件下制膜，所以薄膜的纯度高、密实性好、表面光亮不需要再加工，这就使得薄膜的力学性能和化学性能比电镀膜和化学膜好。长期以来，因为国民经济的不断提高及人民生活水平的改善，极大影响了镀膜工业在国民经济的地位和作用，对于产品镀膜的要求越来越多，市场需求越来越大。镀膜设备种类复杂，只需要按照大的工艺分常有的，比如蒸发、磁控溅射、离子等PVD镀膜技术，按没个镀膜加工企业要求不同又需要配置不同的设备和程序。我国镀膜机械，经过了几十年发展，形成了门类齐全、布局合理，品种配套，真空镀膜技术水平与镀膜工业发展基本适应的体系，真空镀膜设备已经不能再叫新行业了，其是一个有创新能力的成熟行业，镀膜技术从重污染转为轻污染直至以后的无污染，创新是前提，随着更新型节能环保的真空机械设备研发必将改变整个工业。真空镀膜基础知识一,镀膜作业步骤:准备工作1.镀膜前洗净2.抽检镜片外观确认(裂边,伤痕,不洁)情况,全检镜片锁板情况(镜片倾斜,3.确认好准备镀膜的镜片(数量,机种,面别)并做好相应记录4.上伞,将镜片从包装盒内装到镀膜机台伞架上(主意带手套拿取镀膜板四周,勿碰到镜片5.区分需要镀膜镜片种类面别6.清洁坩埚电子枪周围用铜刷刷,吸,并添加***7.确认晶振片,监控片是否OK在新的位置8.确认机台内无杂物,后关门排气加热9.镀膜选取相应的制程10.人员镀膜过程中进行监控11.下伞将镀膜后的镜片从伞架取下,放入包装盒12.抽检主要为膜点,雾状,颜色异常,不洁13.光谱测量采用奥林巴斯反射测定仪和U4100分光光度计14.伞架每圈抽1PCS共5圈15.膜强度测试(采用3M胶带粘拉膜3次)16.光谱量测OK后可送出)