净化工程——无尘车间所谓的无尘车间是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路技术的快速成长，也增加了对制造环境(无尘车间)洁静度的需求，在工业上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。室内生产环境不仅关系到从业人员生产活动中的健康和舒适性，而且关系到生产效率、产品质量，乃至生产过程能否进行的重要问题。由于奈米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断的增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。无尘洁净室的气流速度/换气次数，一直是洁净室设计中受到关注的问题，随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等，对有关规范、导则等提出的推荐或参考值是否偏于保守，已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决，随着FFU的不断改进，对是否采用FFU回风系统也是个热点：悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来，受到关注。(2)局部照明这是指为增加某一zhi定地点（如工作点）的照度而设置的照明。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。无尘洁净室内一定洁净度下气流速度的确定，随洁净室用途等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响。器械净化工程建设中需考虑从以下问题：1.器械包装车间洁净室工程所需要的净化材料；2.器械厂房洁净室及器械包装车间洁净室工程的设计、安装、调试、维护等综合服务；3.器械包装车间洁净室工程空调净化部分温度和相对湿度无菌器械在无特殊规定时，通常要求温度在***标准检测StandardandTesting18~28C，湿度在45%~65%，企业一般都可以控制在要求内。如在动态监测中发现达不到要求，可能是室内有产热大的仪器设备。)