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真空镀膜真空镀膜技术的一般术语及工艺(1)1.1真空镀膜vacuumcoating:在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法。1.2基片substrate:膜层承受体。1.3试验基片testingsubstrate:在镀膜开始、镀膜过程中或镀膜结束后用作测量和(或)试验的基片。1.4镀膜材料coatingmaterial:用来制取膜层的原材料。1.5蒸发材料evaporationmaterial:在真空蒸发中用来蒸发的镀膜材料。1.6溅射材料sputteringmaterial:有真空溅射中用来溅射的镀膜材料。1.7膜层材料(膜层材质)filmmaterial:组成膜层的材料。1.8蒸发速率evaporationrate:在给定时间间隔内,蒸发出来的材料量,镀膜加工厂,除以该时间间隔1.9溅射速率sputteringrate:在给定时间间隔内,镀膜供应,溅射出来的材料量,除以该时间间隔。1.10沉积速率depositionrate:在给定时间间隔内,沉积在基片上的材料量,除以该时间间隔和基片表面积。1.11镀膜角度coatingangle:入射到基片上的粒子方向与被镀表面法线之间的夹角。2工艺2.1真空蒸膜vacuumevaporationcoating:使镀膜材料蒸发的真空镀膜过程。2.1.1同时蒸发simultaneousevaporation:用数个蒸发器把各种蒸发材料同时蒸镀到基片上的真空蒸发。2.1.2蒸发场蒸发evaporationfieldevaporation:由蒸发场同时蒸发的材料到基片上进行蒸镀的真空蒸发(此工艺应用于大面积蒸发以获得到理想的膜厚分布)。2.1.3反应性真空蒸发reactivevacuumevaporation:通过与气体反应获得理想化学成分的膜层材料的真空蒸发。2.1.4蒸发器中的反应性真空蒸发reactivevacuumevaporationinevaporator:与蒸发器中各种蒸发材料反应,而获得理想化学成分膜层材料的真空蒸发。2.1.5直接加热的蒸发directheatingevaporation:蒸发材料蒸发所必须的热量是对蒸发材料(在坩埚中或不用坩埚)本身加热的蒸发。真空镀膜1.在真空镀膜机运转正常情况下,开动真空镀膜机时,必须先开水管,工作中应注意水压。2.在离子轰击和蒸发时,应特别注意高压电线接头,不得触动,以防触电。3.在用电子枪镀膜时,应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃用铅玻璃,观察时应戴上铅玻璃眼镜,以防X射线侵害***。4.镀制多层介质膜的镀膜间,应安装通风吸尘装置,及时排除***粉尘。5.******物品要妥善保管,以防******。6.酸洗夹具应在通风装置内进行,并要戴橡皮手套。7.把零件放入酸洗或碱洗槽中时,应轻拿轻放,不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。8.工作完毕应断电、断水。组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,PVD镀膜,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。晶向均匀性:1。晶格匹配度2。基片温度3。蒸发速率溅射镀膜又分为很多种,总体看,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。镀膜供应,固达五金,镀膜由东莞市固达五金有限公司提供。“加工,产销:五金饰品及配件,真空镀膜件”就选东莞市固达五金有限公司(),公司位于:东莞市长安镇锦厦社区河南工业区西南朗路19号二楼2004,多年来,固达五金坚持为客户提供好的服务,联系人:朱伟。欢迎广大新老客户来电,来函,亲临指导,洽谈业务。固达五金期待成为您的长期合作伙伴!)