薄膜的沉积放电室腔体真空密闭，parylene，气体放电间隙在0～5mm可调，实验选用厚为3.5mm的普通玻璃作为介质，高压电极与玻璃介质接触，地电极与玻璃介质间隙为3mm。抽气系统由机械泵(ZXZ-4型，上海真空泵厂)和电磁真空带充气阀(DDC-JQ-A，上海阀门二厂)组成。放电压力通过电容压力计(626A型，美国MKS公司)测量，并经质量流量显示仪(D08-4D/ZM型，北京七星华创)调节。采用介质阻挡等离子体增强化学气相沉积(DBD-PECVD)法是以硅片(p-Si(100))、玻璃介质和滤纸为基底沉积a-C:F薄膜，***F8(99.99%)为放电气体，Ar为工作气体，***F8和Ar通过质量流量计控制混合后送入放电室。基底首先用无水乙醇(99.99%)清洗，电路板parylene，以除去表面的氧化层和污染物，然后快速放入放电室中，尽量减少尘埃对基底的污染。沉积薄膜前，需在Ar环境中放电15min，对基底表面进一步清洗。沉积a-C:F薄膜时，放电压力控制在25～1000Pa，放电峰值电压(Vpp)为24kV，放电频率为1kHz，parylene镀膜，放电间隙为3mm。影响灯具防水性能的因素——热胀冷缩温度升高，在巨大的负压作用下，潮湿空气通过灯体材料上的微小缝隙，渗透到灯体内部后，遇到温度较低的灯具外壳，冷凝成水珠并聚集。温度降低后，在正压的作用下，空气从灯体内排出，但水滴仍附着在灯内。每天重复温度变化的呼吸过程，灯具内部积水越来越多。热胀冷缩的物理变化，使户外LED灯具防水气密性的设计成为复杂的系统工程。下面就两种灯具防水体系的技术特点进行分析，以便了解其优缺点。紫外线对暴露在灯具外的电线绝缘层、外壳防护涂层、塑料件、灌封胶、密封胶圈胶条、粘合剂都有***作用。电线绝缘层老化龟裂后，转子马达parylene，水汽会通过电线芯的缝隙渗透到灯具内部。灯具外壳涂层老化后，外壳边缘涂层龟裂或剥离，会出现缝隙。塑料外壳老化后，会变形开裂。电子灌封胶体老化会产生开裂。密封胶圈胶条老化变形，会出现缝隙。结构件之间的粘合胶老化，降低粘合力后也会出现缝隙。这些都是紫外线对灯具防水能力的损害。parylene镀膜-parylene-菱威纳米由东莞菱威纳米科技有限公司提供。“Parylene派瑞林,真空镀膜,表面处理”就选东莞菱威纳米科技有限公司（），公司位于：广东省东莞市长安镇***路1438号1号楼301室，多年来，菱威纳米坚持为客户提供好的服务，联系人：杜小姐。欢迎广大新老客户来电，来函，亲临指导，洽谈业务。菱威纳米期待成为您的长期合作伙伴！)