当吸气完成时与吸气口隔绝，从Ⅱ-Ⅱ到ⅢⅢ断面，小腔的容积正逐渐减小，压力不断地增大，此时正处于压缩过程，当压缩的气体提前达到排气压力时，从辅助排气阀提前排气。从断面ⅢⅢ到ⅠⅠ，而与排气口相通的小腔的容积进一步地减小压强进一步的升高，当气体的压强大于排气压强时，被压缩的气体从排气口被排出，在泵的连续运转过程中，不断地进行着吸气、压缩、排气过程，从而达到连续抽气的目的。把泵翻转成油箱朝下。c、拆两端盖，移出转子、旋片。d、检查泵体内腔、转子、旋片及附件的情况（轻拿轻放，注意防碰、防锈）。当泵的机芯被拆下后要进行装配的顺序是：a、用70#以上***清洗机芯部件，检查各油路是否畅通，吹干待装。注意清洁后的零件表面不要与有水汽等非真空泵幽咽体接触被抽气体种类与抽气量检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。真空容积检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。主真空泵的选择计算S=2.303V/tLog(P1/P2))