7、测量配置7.1示波器：美国泰克新5系混合信号示波器（MSO），带宽500MHZ，垂直分辨率12位ADC，4通道；7.2高速电流探头；7.3高压差分探头。8、测试参数应包括8.1开通：turnon(tdon,tr,di/dt,Ipeak,Eon,Pon)；8.2关断：turnoff(tdoff,tf,Eoff,Ic,Poff)；8.3反向***(Irr,Trr,di/dt,Qrr,Erec)；8.4栅电荷：采用恒流驱动，电流可调范围：0～100mA；8.5短路（1200Ａmax）；8.6雪崩；8.7NTC(模块)测试：0-20KΩ；8.8主要测试参数精度偏差：目的和用途该设备用于功率半导体模块（IGBT、FRD、肖特基二极管等）的动态参数测试，以表征器件的动态特性，通过测试夹具的连接，实现模块的动态参数测试。1.2测试对象IGBT、FRD、肖特基二极管等功率半导体模块2.测试参数及指标2.1开关时间测试单元技术条件开通时间测试参数：1、开通时间ton：5～2000ns±3%±3ns2、开通延迟时间td(on)：5～2000ns±3%±3ns3、上升时间tr：5～2000ns±3%±3ns4、开通能量：0.2～1mJ±5%±0.01mJ1～50mJ±5%±0.1mJ50～100mJ±5%±1mJ100～500mJ±5%±2mJ5、开通电流上升率di/dt测量范围：200-10000A/uS6、开通峰值功率Pon：10W～250kW4验收和测试3)验收试验应在-10～40℃环境温度下进行，验收完成后测试平台及外部组件和装置均应安装在买方的位置上。4)测试单元发货到买方前，卖方应进行出厂试验。卖方出厂试验详细方案应提前提交买方评估，通过买方评估合格后实施方可视为有效试验。否则，需按买方提出的修改意见重新制定出厂试验方案，直至买方评估合格。)