PSA制氧机装置当变压吸附制氧机吸附器吸附到一定程度,其中的吸附剂将达到饱和状态,此时通过切换阀利用真空泵对之进行抽真空(与吸附方向相反),真空度为0.65-0.75barg。已吸附的水分、二氧化碳、氮气及少量其它气体组分被抽出并排至大气,吸附剂得到再生。变压吸附制氧机的每个吸附器都交替执行以下步骤:---吸附---解吸---冲压上述三个基本的工艺步骤由PLC和切换阀系统来实现自动控制。早期开发的变压吸附制氧设备的共同点有以下几个方面：（1）大多采用高于大气压吸附、常压解吸流程，吸附塔有两个到四个；（2）空气进入吸附塔前，经过脱水预处理；（3）设备可靠性差，不能连续稳定运行，导致大部分设备报废；（4）技术、经济指标落后。20世纪90年代是我国变压吸附制氧技术突飞猛进向前发展的时期，变压吸附制氧技术逐渐成熟。运用范围广：炼钢、炼铁、有色金属冶炼、化肥生产、乙烯、、聚、人造纤维、合成纤维、电缆、合成革等石油化学工业、机械工业中的焊接切割，金属热处理、浮法玻璃生产、制取臭氧、富氧曝气污水处理、重危吸氧、氧吧、高压氧、农业、畜牧业、渔业、漂白纸浆、富氧燃烧、粉碎废旧轮胎等环保产业等。纯度、流量、压力稳定可调，满足不同客户的需要。)