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洁净室的分类层流式(Laminar):层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种:(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。5米/秒(60英尺/分钟至100英尺/分钟)的均速流过整个空间。缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。净化工程适合的行业不论什么行业对产品的质量,环境的洁净都是越来越严格的,洁净室净化工程也将深入各行各业,这是发展趋势。目前净化工程行业涉及如下:微电子日用化妆品印刷包装光学光电化学生物制药器械洁净***室航空航天涂装涂料wen物库房电子行业:精密仪器手机背光源芯片生产、集成电路无尘室汽车制造磁盘制造车间等食品行业:奶制品果汁盐类酿酒厂肉类加工烘焙面包房槟榔厂海鲜调料包等日用化妆品行业:纸类***化妆品日常洗衣用品等。(1)对生产效率的影响室内生产环境对生产效率的影响体现在以下两方面:首先,良好的生产环境不仅可以保障生产人员的身心健康和出勤率,而且能够提高他们的工作情绪和积极性。净化工程——洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。1、乱流洁净室总送风量的10%~30%,层流洁净室总送风量的2~4%。)
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