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光学镀膜由薄的分层介质构成的,经过界面传播光束的一类光学介质材料。光学薄膜的使用始于20世纪30年代。现代,光学薄膜已广泛用于光学和光电子技术领域,制造各种光学仪器。吸收介质:能够是法向均匀的,也能够是法向不均匀的,实际使用的薄膜要比抱负薄膜复杂得多,这是因为,制备时,薄膜的光学性质和物理性质偏离大块材料,其表面和界面是粗糙的,从而导致光束的漫散射,膜层之间的相互渗透形成扩散界面,因为膜层的成长、结构、应力等原因,形成了薄膜的各向异性,膜层具有复杂的时刻效应。在上世纪70年代曾经,镜头镀膜办法大多以化学反应为主。这种办法有必要严格的操控化学溶液的浓度和架桥剂的组合,进行反应的时刻和条件等。由于,仅能小量批次出产,所取得的质量良莠不齐。比较常用的加工法:一为浸镀法,另一则为喷镀法。浸镀法是依据欲装备膜的性质制备含有成分的溶液,然后将玻璃加热到一定温度,放入装备好的化学溶液里,拿出,烘干。与链条式传送机构相比,该机构为刚性传送,不存在齿合不准确问题同时,由于需要的过渡空间小,可以节约真空室之间阀门的开关时间、进一步减少不同真空室之间的气氛互串。因而极大的提高了镀膜工艺稳定可靠性、成品率,降低能耗和成本等。随着镀膜技术的发展,各类真空镀膜机也逐渐出现,不管是哪种真空镀膜机,薄膜的均匀性都会受到一些因素的影响。现在,我们就以磁溅射真空镀膜机来分析成膜不均匀的因素。)
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