半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。所有居于地位的制程工具OEM，以及***每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备***的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。平版印刷平版印刷（即晶圆的图案形成）是半导体制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷一般不需要真空环境，但远紫外(EUV)平版印刷和电子束平版印刷却需要真空泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。EUV平版印刷泵送解决方案多重图案形成技术有其存在的价值，但以后可能需要使用EUV平版印刷，因为轻型EUV系统提供极短的波长。干泵选择CVD制程通常需要通过选择适当的干泵产品来克服四个特定挑战。要让您的系统具有性能，真空环境是关键。真空系统的清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们与EUV平版印刷OEM和光源OEM合作开发了精密真空系统，可为您进行的大型***提供可靠性。电子束平版印刷解决方案电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性和长正常运行时间至关重要。我们的产品解决方案您可能需要使用涡轮分子泵(TMP)以便在您的制程工具上实现超高真空。爱德华罗茨泵维修因为结构不一样，所以它和油封封E2M80的维修方法有点不一样，出现的故障也不一样。我们的STP系列TMP采用完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制电缆。金属电镀如今的某些制程使用金属有机前体物，当这些金属有机前体物通过舱室时，它们会产生一些副产品，极有可能将其金属物沉积到泵表面上。对于这些应用，通常使用低温泵以便确保长的维修间隔。气体减排选择每个CVD制程都需要某种形式的气体减排设备，以便可以将***和***的制程副产品安全地转换为可任意处理的元素。爱德华真空泵油产品描述：原装进口爱德华UL-19UL-70低蒸汽压真空泵油产品描述：原装进口爱德华UL-19UL-70低蒸汽压真空泵油是从油蒸馏和完善的产品。我们对我们的燃料燃烧废气管理设备倍感骄傲，因为它们能够有效地将副产品强制重组为安全的化合物。有了多入口燃料燃烧能力，当您不需要对制程废气进行除害处理时，您可以通过关闭主燃烧器来快速部署环保模式。集成式系统和生产层解决方案仅仅有泵和气体减排设备，您仍然不能随时运转您的制程。Drystar系统的非接触式装置减少了磨损和维护，开机时间更长，抽空时间更短。您将需要连接泵排气管道、连接管道加热器（如果需要）、铺设供水管道、吹扫管道和电气线路，然后让所有控制信号准备就绪。您还必须考虑双壳体、气体泄漏检测以及在进行工具维护后如何进行泄漏检查。所有这些事宜都将占用您的设计时间和资金。我们了解问题所在，因此开发了集成的、特定于制程的解决方案。我们的集成式系统已针对大多数半导体CVD制程进行预设计。我们会根据需要分配吹扫、水、电和控制信号并打造随时可投入使用的系统。排气加热器针对适当温度进行设置以便大程度地降低成本和延长正常运行时间。我们在需要的位置安装泄漏检查端口和闸阀。我们可以在装置内安装有***体传感器并密封整个系统，***重要的是，您只需要提供每种所需的水电设施。我们会根据需要分配吹扫、水、电和控制信号并打造随时可投入使用的系统。服务更换为了实现您的制程正常运行时间目标，在计划内或计划外停机情况下，您需要快速响应。主要型号：EDWA***爱德华EM系列E1M5,E1M8,E1M12,E1M18,E1M30,E1M40,E1M80,E1M175,E1M275,E2M0。我们维护着***的服务更换产品库存，这些产品按照我们服务中心的全新性能规范进行建造和测试。给我们打电话，我们会将更换产品运送给您，而您只需将原装产品送回给我们–快速、简单并且***时间***短！摘要：使用服务更换选项大程度减少***时间库存中提供各种各样的设备在很短的一段配置交货时间后可提供其他选配型在我们的服务中心的受控环境中制造)