早期开发的变压吸附制氧设备的共同点有以下几个方面：（1）大多采用高于大气压吸附、常压解吸流程，吸附塔有两个到四个；（2）空气进入吸附塔前，经过脱水预处理；（3）设备可靠性差，不能连续稳定运行，导致大部分设备报废；（4）技术、经济指标落后。20世纪90年代是我国变压吸附制氧技术突飞猛进向前发展的时期，变压吸附制氧技术逐渐成熟。运用范围广：炼钢、炼铁、有色金属冶炼、化肥生产、乙烯、、聚、人造纤维、合成纤维、电缆、合成革等石油化学工业、机械工业中的焊接切割，金属热处理、浮法玻璃生产、制取臭氧、富氧曝气污水处理、重危吸氧、氧吧、高压氧、农业、畜牧业、渔业、漂白纸浆、富氧燃烧、粉碎废旧轮胎等环保产业等。纯度、流量、压力稳定可调，满足不同客户的需要。PSA法能够生产纯度80%~95%的氧气，制氧电耗一般在0.32kWh/Nm3～0.37kWh/Nm3，吸附压力高于大气压，一般在30kPa～100kPa，流程简单，常温下工作，自动化水平高，可实现无人化管理，特别是安全性好。在真空解吸流程中，装置操作压力低，容器等不受压力容器规范控制。变压吸附工艺按吸附器的数量，分为单塔流程、两塔流程、三塔流程和五塔流程等。五塔流程的变压吸附法为常用，就是用5个吸附床、4台鼓风机和2台真空泵，整个周期中保持2个床在吸附和抽真空，解决了大规模产氧的技术问题。)