流量阀是液压系统中的一个重要元件,其作用是控制流体的流向、流量以及压力。一般工程上需要对流体进行控制,用的大多是传统的电磁力矩马达驱动式的控制阀,这种阀结构复杂、体积大、控制精度低,难以满足对微流量流体的控制,特别是高压下的微流量流体的控制。本文利用压电陶瓷材料作为驱动元件,配合金属橡胶材料,设计了一种新型的压电驱动精密流量阀。由于压电陶瓷具有微/纳米级的精密位移输出能力,使得压电驱动精密流量阀能利用其高位移分辨率控制阀芯的开启,从而实现精密的流量输出控制,并且将金属橡胶安装在阀的进出口处,利用其节流减压特性,使阀口前后的压差减小,阀中流体速度变化平缓,减小气蚀***。本文所设计的阀采用柔性铰链杠杆机构作为动力源与阀芯运动机构之间的动力传输装置和位移放大装置。东莞市日成精密仪器有限公司主营产品有：精密视觉压电喷胶系统、精密视觉压电滑阀点胶系统、精密视觉螺杆阀点胶系统、全自动喷胶/点胶组装流水线等系列自动化设备采用有限元分析软件对柔性铰链杠杆机构进行静动态特性分析,得到了机构的静变形云图和VonMisesStress云图。根据分析结果,对柔性铰链杠杆机构进行了参数优化,优化结果使得该机构在满足阀芯运动具有良好的动态特性下,柔性铰链的体积比优化前减少了16%。)