目前的超精密加工，以不改变工件材料物理特性为前提，以获得极限的形状精度、尺寸精度、表面粗糙度、表面完整性（无或很少的表面损伤，包括微裂纹等缺陷、残余应力、***变化）为目标。超精密加工的研究内容，即影响超精密加工精度的各种因素包括：超精密加工机理、被加工材料、超精密加工设备、超精密加工工具、超精密加工夹具、超精密加工的检测与误差补偿、超精密加工环境（包括恒温、隔振、洁净控制等）和超精密加工工艺等。一直以来，国内外学者围绕这些内容展开了系统的研究。高精度、***率。高精度与***率是超精密加工永恒的主题。总体来说，固着磨粒加工不断追求着游离磨粒的加工精度，而游离磨粒加工不断追求的是固着磨粒加工的效率。当前超精密加技术如CMP、EEM等虽能获得极高的表面质量和表面完整性，但以牺牲加工效率为保证。超精密切削、磨削技术虽然加工效率高，但无法获得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顾效率与精度的加工方法，成为超精密加工领域研究人员的目标。半固着磨粒加工方法的出现即体现了这一趋势。另一方面表现为电解磁力研磨、磁流变磨料流加工等复合加工方法的诞生。铝合金压铸件的流体抛光技术需要依靠流动的液体及其携带的磨粒冲刷工件表面达到抛光的目的。流体动力研磨是由液压驱动，介质主要采用在较低压力下流过性好的特殊化合物并掺入磨料制成，磨料可采用碳化硅粉末。磁研磨抛光也是铝合金压铸件加工中涉及到的抛光技术之一，利用磁性磨料在磁场作用下形成磨料刷，对工件磨削加工。这种方法加工效率高，质量好，加工条件容易控制。采用合适的磨料，加工的表面粗糙度可达到ra0.1μm。铝合金压铸件为了提高表面粗糙度，需要采用超声波与专用的高频窄脉冲高峰值电流的脉冲电源进行复合抛光，由超声振动和电脉冲的腐蚀同时作用于工件表面，迅速降低其表面粗糙度，这对经车、铣、电火花及线切割等工艺加工后的模具粗糙表面抛光效果明显，十分有效。)