广州帕纳光电科技有限公司----爱德华STP-301磁悬浮分子泵维修；Edwa***是精密真空产品、尾气管理系统和相关增值服务的开发商和制造商。Edwa***解决方案是进行半导体制造、平板显示器、LED和太阳能电池的整体解决方案，还在更多工业工艺中应用，包括电力、玻璃和其他涂装，钢铁和其他冶金，和***以及广泛研发应用中的科学仪器。我用的为热电的爱德华STP-301磁悬浮分子泵维修型的质谱，近，发现一个问题,点火是不太容易点着，且用大约3个小时后,114.9的信号有时会从4万下降到3万？答关于点火,要注意检查炬管的位置,同时注意与雾室接头处的连接不能漏气,再就是气的纯度,信号的衰减是正常的。以EDS系列干式螺杆真空泵为列，Edwa***根据客户所需以及市场的变革，创造性地采用了风冷水冷双切换的冷却方式，能的保证产品灵活、安全的运行。支撑起Edwa***不断推陈出新、针对性的解决用户痛点的背后实则是其多年积累的行业经验、历年稳定的研发投入、以及优质的***服务等综合因素所决定的。涡轮分子泵注意事项1、不能在前级泵工作时（前级管路接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸气迅速从前级管路返流到泵的清洁端。2、分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。更换真空泵机油，拆卸真空泵修理缸等部件，如果叶片严重损坏，则需要更换真空泵叶片。确保关闭电机电源，并断开风扇盖。用手转动电动机和真空泵。如果手板不动，请从泵上拆下马达，并分别检查真空泵和马达。如果真空泵被卡住，请维修泵（需要***技术人员进行维修和检查）油扩散泵的维护(1)对于具体的扩散泵应按该电镜所带的说明书中规定的时间间隔进行加油和换油。(2)电镜若要正常停机或油扩散泵要加油或做其他维护或检修，在关断电镜和油扩散泵的加热电源后，应让循环水机继续运行至少35min之后才能停机，即让泵内的油温降到低于70度，才能停止冷却并进行后面的维护或检修。这样既可让泵油、泵体和高压电源等受冷却的部位都能得到充分的降温，尤其重要的是减少泵油的氧化，也可以避免拆卸时人手被。)