洁净棚的温湿度控制非常重要，不合宜的温湿度会影响洁净效果。但是温湿度的控制主要还是根据工艺要求来确定的，工艺性高也就代表着洁净度越高。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。洁净棚是一种可提供局部高洁净环境的空气净化设备。那么该如何保证洁净棚内洁净度呢?有哪些措施呢?要想保证洁净棚内的洁净度，对正常运行的净化空调系统、洁净室，则必须做到进入洁净室内的空气是清净的，进入洁净室内的人和物品应经过必要的净化处理，尽量减少人和物带入洁净室内的灰尘量。(1)人净人净措施主要包括水洗、换鞋和衣服及空气吹淋三个方面。***散发的污染物主要有自身产生的污染物和携带的污染物两种。***携带的尘粒有三种;一种是随机附着在头发上、衣服和鞋上的外界环境污染物质;以及衣服和鞋上残留的污染物。另一种是人身涂抹物，如头油、香水、睛膏、脂粉等物。第三种是服装的磨损脱落物。***又是洁净棚内主要的菌源之一。(2)空气净净化空调系统在运行中，所使用的各级空气过滤器必须是完好而无损坏和泄漏现象。净化空调系统在运行中，洁净棚改造，为防止送风系统将不应进入室内的尘粒带进室内，必须对系统中使用的初效、中效及末端空气过滤器进行定期的泄漏检查。(3)物料净进入洁净室的物料一般来讲应在运入洁净室之前进行清洗和必要的净化处理，以减少物料在洁净室内的发尘量。进入洁净室的小件物品一般由洁净室与外走廊或洁净室也洁净室之间(洁净度级别不同的相邻房间)通过传递窗进入。传递窗一般有箱式型、回转式等。洁净棚(又称简易无尘室)，是一种可提供局部高洁净环境的工作空间。洁净棚主要由箱体、风机、初效空气过滤器、***空气过滤器、灯具等组成，洁净棚，具备多种洁净等级及空间搭配，可针对在一般等级的洁净室中局部地区需要高洁净度的地方做局部增设以降低成本。目前的洁净棚结构为：顶部安装空气过滤器用于向下送洁净空气，四周设置防静电围帘，将棚内空气与棚外空气隔离开来，从而在棚内形成***的洁净空间。这种结构的洁净棚，各围帘之间相互分离，洁净棚定制，存在大量间隙，洁净棚内部与外部的隔离性差，洁净棚内部的空气容易受到外界空气影响，降低洁净棚内部空气的洁净度，且围帘通过螺栓固定在洁净棚的框架上，安装和拆卸都比较麻烦。洁净棚改造-洁净棚-得创净化(查看)由武汉得创净化设备有限公司提供。行路致远，砥砺前行。武汉得创净化设备有限公司（）致力成为与您共赢、共生、共同前行的战略伙伴，更矢志成为环保项目合作具影响力的企业，与您一起飞跃，共同成功!)