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外观:银色金属片材、板材、靶材规格:主含量Re≥99.98%厚度:0.15-10mm用途:主要用于涂层和薄膜的化学气相沉积(CVD)和物***相沉积(PVD)处理过程,包括热合电子束蒸发、低温有机蒸发、原子层沉积(ALD)及金属有机化学气相沉积(MOCVD)加热器制造用材等。)
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