英国爱德华iH晶圆半导体干式真空泵维修代理商iH80维修概述Edwa******半导体真空泵维修代理商已经过现场应用证明，可以按照***高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。iH系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的PECVD和LPCVD制程）提供了高可靠性。应用负载锁输送计量平版印刷PVD制程PVD预清洁RTA剥离/灰化刻蚀植入源HDPCVDRTPSACVDMCVDPECVDLPCVDALD功能和优势优化了设施消耗。无需预防性维护。悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。在节***功率的同时提高了工作繁重的CVD应用条件下的稳定性。耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。技术数据峰值速度103m3h-161cfm1717lmin-1极限真空1x10-2mbar7.5x10-3Torr1Pa典型轴封氮流量4slm进气口连接ISO63出口连接NW4015psi压降下典型冷却水流量120lh-12lmin-1重量240kg极限功率输入2.7kW电机额定功率3.5kW油容量0.7l所有数字均为无气镇时的典型值。苏州昆山太仓无锡上海张家港吴江常熟镇江常州英国edwa***vacuum爱德华iH晶圆半导体干式真空泵维修代理商、爱德华干式真空泵维修代理商iH80维修扬州泰州南通南京启东海门如皋海门海安如东宿迁英国edwa***vacuum爱德华iH晶圆半导体干式真空泵维修代理商、爱德华干式真空泵维修代理商iH80维修徐州合肥芜湖杭州湖州温州台州衢州绍兴金华宁波英国edwa***vacuum爱德华iH晶圆半导体干式真空泵维修代理商、爱德华干式真空泵维修代理商iH80维修余姚福州厦门泉州深圳广州珠海广州惠州通州桂林英国edwa***vacuum爱德华iH晶圆半导体干式真空泵维修代理商、爱德华干式真空泵维修代理商iH80维修南宁南昌赣州武汉成都重庆荆州太原兰州乌鲁木齐英国edwa***vacuum爱德华iH晶圆半导体干式真空泵维修代理商、爱德华干式真空泵维修代理商iH80维修)