光学微电子净化工程解决方案:3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机FFU送风口这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，车间净化工程，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。无尘室温湿度控制方法：1、无尘室温湿度维护管理。①无尘室适当之正压保持（gt;0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。②隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘***、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室专用器等。2、室内发尘不积留。墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期***和清扫、制程设备四周应留有空间。3、发生尘埃排除。换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，***净化工程，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，松江区净化，所以必须有±0.1度的恒温，洁净室净化工程，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产湿度范围为35—45%。***净化工程-松江区净化-清阳净化系统工程***(查看)由昆山清阳净化系统工程有限公司提供。***净化工程-松江区净化-清阳净化系统工程***(查看)是昆山清阳净化系统工程有限公司（.cn）今年全新升级推出的，以上图片仅供参考，请您拨打本页面或图片上的联系电话，索取联系人：蔡总。)