无尘车间净化技术的设备发展美国ASYST公司、德国MW公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项新的无尘车间洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中，采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境，把***比例压缩到高ji别的微环境，无尘车间消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和可靠性的影响作用。净化中人和物的控制人和物是洁净室的主要尘源，因此必须充分控制，例如：在进入净化房前，所有的人都要经过人净系统，更换无尘衣，并且要接受净化系统功能的基本教育。洁净工程区域功能讲解：1.粘性地板材料：通常用在洁净室入口到更衣区域和洁净室中，粘性材料用来祛除鞋底的尘埃微粒。2.更衣区域：洁净室与外部环境的缓冲地带，对这个区域的管理直接影响到洁净室洁净度的保持。3.气压：保持和监测相对于外部环境或相关区域的正气压将直接影响到洁净室的运行。4.风浴：理论上，更衣过的工作人员在进入洁净室前应进行进一步的“擦洗”。5.维修间：置放辅助和支持设备(除载入和载出设备之外)，这个区域的维护对生产洁净度水平而言是非常重要的。6.双门通道：允许原料或产品进出洁净室的气密进出口。7.更衣程序：就洁净室服装而言，存放、穿衣和更衣都对洁净室运行起到关键的作用。洁净室维护(包括洗衣)在洁净室运行中经常被忽略净化工程注意事项需记牢：净化工程注意事项需记牢,净化工程有许多需要注意的事项，做好这些才能发挥净化的价值。1.安全注意事项严厉无菌操作，避免微生物污染;操作人员进入无菌室应先关掉紫外灯。2.无菌室应设有无菌操作间和缓冲间，无菌操作间洁净度应到达10000级，室内温度坚持在20-24℃，湿度坚持在45-60%。超净台洁净度应到达100级。3.无菌室应坚持清洗，禁止堆积杂物，以防污染。谨防全部灭菌器件和培养基污染，已污染者应停止运用。)