匀胶机
CIF匀胶机转速稳定、启动迅速,旋涂均匀,操作简单,结构紧凑实用,为实验室提供了理想的解决方案。广泛应用于微电子、半导体、新能源、化工材料、生物材料、光学,硅片、载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。产品特点采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶均匀。5寸全彩触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置),可选配10个可编程程序,每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段,***多100个阶段。内置水平校准装置,***大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。多重安全保护电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全;盖子自锁功能,防止飞片盖***开伤人;双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,***大限度保证实验人员安全。一机两用,根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂模式。不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,PTFE旋涂腔体,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盘,PTFE嵌镶钢化玻璃上盖,耐酸碱防腐蚀,保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP等多种材料。技术参数型号转速(转/分)转速稳定度匀胶时间旋涂基片尺寸mm外型尺寸(LxWxH)mmSC150-10000&plu***n;1%0-2000S圆片Φ5-Φ100,方片***大100x100310x260x250)
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