透射电镜样品杆清洗机
CIF透射电镜(TEM)样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计,自动切换,一机多用,清洗快速***、低等离子体轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。核心部件采用国际***品牌,保证设备优异的质量和稳定性。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。产品特点双等离子清洗源远程清洗、检漏两用快速***即插即用技术参数产品型号CIF-TEM真空泵Agilent、IDP-3涡轮式真空干泵***大入口压力1.0个大气压(0psig),***大出口压力1.4个大气压(6.5psig)***高抽速60L/min,极限真空3.3x10-1mbarKF16入口接口等离子电源两种等离子体清洗源,原位等离子源和远程等离子源,自动匹配器13.56MHz等离子RF电源,5-100W可调清洗室清洗室尺寸(长X宽X高)150X150X150mm***多可放置3路TEMhoder,可清洗FEI、JOEL等TEM品牌样品杆气体控制美国MKS数字真空计两路清洗气体控制,可以外接如Ar或O2等清洗气体控制方式7寸全彩触摸屏操控方式,人机互动界面冷却方式风冷电源电源220V、50/60Hz质量保证二年免费,终身维护)
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