ZJLS系列蒸发磁控镀膜机设备说明：ZJLS系列真空镀膜机是立式双开门，蒸发、磁控溅射两用镀膜机，是镀制透明膜、半透明膜、不导电膜等各种功能性膜的理想设备。设备特点：1．双门均配备可公自转结构，装卸工件方便快捷。2．***，洁净的抽真空系统。3．科学的工艺控制系统，自动、手动任意切换。4．合理的配气系统。5．满足不同客户镀膜需求，灵活配置。主要配置：ZJLS型规格ZJLS-1200ZJLS-1400ZJLS-1600真空室内尺寸Φ1200X1900mmΦ1400X1900mmΦ1600X2000mm抽气系统滑阀泵H-150、罗茨泵ZJP-1200、油扩散泵KC-800、维持泵2X-15充气系统复合真空计、流量控制仪、流量计显示仪电源脉冲溅射电源20KW、磁控溅射电源40KW、蒸发电源40KW、轰击电源6KW电控系统自主设计（触摸屏+PLC）控制方式，设有声光报警装置设备重量6300KG7120KG8000KG占地面积4.2X5X3.2M4.6X6X3.2M5X7X3.3M主要技术指标：●极限真空--6.0X10-4Pa●抽气时间---5X10-2Pa≤8min(空载)●漏气率--10-3PaL/S●工件转速--1-30r/min连续可调●沉积速率--AL≥500nm/min●耗水量--35m3/h)