激光干涉仪主要特色与效益1.品质管制维护2.系统结构简单、重量轻3.自动数据采集4.激光准确度经由NIST认证5.毋须三脚架及干涉镜6.WindowsTM软件7.RS-232接口8.自动环境补偿9.支持NMTBA、、ISO及A***EB5.54标准主要应用1.品质管制维护2.超精密***3.CNC机床、CMM、导螺杆及DRO直线校验激光干涉仪的技术参数:***大量程100000mm准确度1μm/M；分辨率0.01μm***高工作速度2400M/min)