超纯电子材料超纯水处理精密电子超纯水处理半导体材料和集成电子超纯水处理其它微电子用水处理典型工艺流程原水——原水箱——原水泵——多介质过滤器——活性碳过滤器——保安过滤器——1级高压泵——2级高压泵——2级反渗透——纯水箱——送水泵——紫外线装置——出水反渗透装置运行参数：1、回收率：60-75%2、操作压力：1-1.5Mpa3、***去除率：大于99%4、出水导电率：小于10μs/cm)