净化车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合***送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。GMP净化厂房参数：换气次数：100000级≥15次；10000级≥20次；1000级≥30次。压差：主车间对相邻房间≥5Pa平均风速：10级、100级0.3-0.5m/s；温度：冬季16℃;夏季26℃;波动±2℃。湿度：45-65%;GMP粉和剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。噪声：≤65dB(A);新风补充量：是总送风量的10%-30%;照度：300LX。洁净室内各种表面很容易沾染和繁殖***，室内***也是主要菌源之一，人的呼吸、讲话也散步***，在洁净室中不仅要带普通口罩，有时还要用***过滤纸制成的口罩，可比前者减少4/5的***发尘量。消毒灭菌方法：干热法是在干燥空气中加热处理的方法，基于高热作用下的氧化作用***微生物的原理，一般需要的温度高达160℃以上，时间长达1H-2H；湿热法内是用高温蒸汽的灭菌方法，基于湿热作用下使***内蛋白质凝固的原理，一般需要的温度比干热法低，时间也短些。)