一、主要用途该产品主要用于硅圆片、掩膜板、太阳能电池等其它类似材料的高洁净度冲洗甩干。具有单腔、双腔两种结构（也可按用户要求配置）二、主要技术特点1.采用高性能的可编程控制器实现逻辑控制。2.采用彩色液晶汉显监控，可存储十种用户工艺菜单。3.结构采用净化处理技术。4.去离子水电阻率监控。5.防静电控制。6.氮气温度控制。7.腔体温度控制。8.转轴氮气密封。9.可选无刷电机驱动。10.旋转载体***。11.故障自动诊断，显示及报警系统。12.可按用户特殊要求配制。三、主要技术指标：1.***大加工硅片尺寸：8”（片架连接按用户要求配制）2.工作腔数量：1?D2个（可选）3.去离子水耗量：5L/min（单腔单片盒）4.去离子水压力：2.3?D2.8bar5.氮气耗量：125L/min（单腔单片盒）6.氮气压力：2.5?D3bar7.氮气过滤精度≤0.005m8.氮气温度控制范围：80℃9.旋转腔转速：300?D2400rpm10.电源：AC220V&plu***n;AC220V*10%11.外型：765*460*1800（双腔单片盒）、730*460*1300（单腔单片盒）12.重量：420kg（双腔单片盒）、240kg（单腔单片盒）四、产品型号说明：1.CXS?DXYZ冲洗甩干机2.CXS?D旋转冲洗甩干机3.X?D工作腔数量（1为单腔、2为双腔，也可按用户特殊要求定制）4.Y?D***大加工直径4”5”6”(100mm125mm150mm)5.Z?D型号特征ABC（为用户特殊要求标志及产品改进型标志）五、产品规格1.CXS?D2150SA为双腔、***大加工硅片直径为Φ150mm、双片盒结构、A型旋转冲洗甩干机2.CXS?D1150B为单腔、加工硅片直径为Φ150mm、单片盒、B型旋转冲洗甩干机)