研磨盘是CMP研磨的支撑平台，其作用是承载抛光垫并带动其转动。它是控制抛光头压力大小、转动速度、开关动作、研磨盘动作的电路和装置。(3)抛光垫抛光垫（图3）通常使用聚***脂(Polyurethane)材料制造，利用这种多孔性材料类似海绵的机械特性和多孔特性，表面有特殊之沟槽，提高抛光的均匀性，垫上有时开有可视窗，便于线上检测。通常抛光垫为需要定时整修和更换之耗材，一个抛光垫虽不与晶圆直接接触，但使用售命约仅为45至75小时。抛光垫有软垫，硬垫之分[6]。图3.抛光垫（左软，右硬）硬垫（图3，右）:较硬，抛光液固体颗粒大，手动抛光机麻光，抛光速度较快，平行度、平整度也较好，但表面较粗糙，损伤层较严重。软垫（图3，左）具有更好的硅片内平均性，抛光液中固体颗粒较小，因此可以增加光洁度，同时去除粗抛时留下的损伤层。故采用粗精抛相结合的办法，既可保持晶片的平行度、平整度，又可达目前的抛光机械***主要的抛光方式有两种，手动抛光机、自动抛光机。手动抛抛光机种类，目前市面上主要有两种手动抛光机一种是立式带轮的马达抛光机，主要是固定在地面上，一般分为单头和双头，可安装砂带和抛光轮，由抛光工人坐立或站立在机械旁以手压工件摩擦抛光。这种抛光方式适合较大或者形状较为规则的工件抛光，而且对抛光工人有一定的体力要求。另一种是手提式抛光机，这种小型的抛光机体型较小有点像个电吹风，采用手提方式，将小抛光轮放于小钻头上，用抛光轮主动去接触需要抛光的产品进行抛光，主要适用于小型的金属件、钻石、宝石等抛光，也多用于凹凸不平的工件抛光。自动抛光机种类，由于自动抛光机为追求效率，不可能达到手动抛光那样的灵活，所以自动抛光机种类相对较多，主要针对产品的形状进行划分。另一种是手提式抛光机，这种小型的抛光机体型较小有点像个电吹风，采用手提方式，将小抛光轮放于小钻头上，用抛光轮主动去接触需要抛光的产品进行抛光，主要适用于小型的金属件、钻石、宝石等抛光，也多用于凹凸不平的工件抛光。自动抛光机种类，由于自动抛光机为追求效率，不可能达到手动抛光那样的灵活，所以自动抛光机种类相对较多，主要针对产品的形状进行划分。平面抛光机，针对平面类产品设计的，采用平面工作台，可前进后退和左右摇摆。平面产品放于工作台上，由上方抛光轮自动下压对产品进行抛光，对于较复杂的饰品等需要安装相对应的夹具，将产品放于夹具上进行抛光。圆管抛光机，圆管类的抛光机主要分为多组单管输送式圆管抛光机和胶辊式圆管抛光机。多组单管输送式圆管抛光机目前主要有六组、十组、十二组圆管抛光机，采用输送方式一次只能抛光一根，由于输送抛光和多磨头一次抛光，效果较好、不会太大影响效率，而且圆管的长度不受限制，可以抛光较长的管件。带胶辊圆管抛光机是在工作台上安装胶辊，将需要抛光的圆管安放于胶辊上，胶辊可旋转带动圆管旋转，工作台上的抛光轮下压进行抛光。此类机械可以保证效果达到镜面，而且效率高，一次可以抛光是到二十根圆管。但是由于受到工作台限制，可抛光圆管的大小和长度也受到限制，当然目前行业内几家有实力的抛光设备生产商可以定做大型胶辊圆管抛光设备，可以量产较长和直径较大的圆管。异形抛光机，顾名思义这类机械主要用于抛光形状不规则的金属产品。此类机械往往生产难度较大，因为需要加工形状较为不规则的，机械往往需要进行量身设计定做。需要设计人员灵活处理，手动抛光机，目前较为标准的机械有圆弧型抛光机、餐盘抛光机、餐具抛光机、异形数控抛光机等。外圆抛光机，主要机型有两磨头圆盘抛光机、四磨头圆盘抛光机、六磨头圆盘抛光机。主要抛光圆盘、圆盖、圆柱形的顶面和侧面，根据生产需要设定抛光头，以达到预期的抛光效果。这类机型生产效率高，多磨头也可以保证抛光效果，受到业界广泛欢迎迎。此外还有其他特殊种类的抛光机械，如方管抛光机、弯管抛光机、手机壳抛光机、饰品抛光机等等。你还在用手工抛光吗？人家抛光都用了自动抛光机了！！或许以现代社会的迅猛发展趋向，或许将来会采用手工抛光的企业也是***数了吧，在我们老一辈，通常对产品的质量安全要求十分高的金属产品，都是采用将金属外表磨光的技术来抛光打磨。但是有一些企业对金属的抛光处置是采用化学液来抛光的，特别是厨具用品，这真是令小编我十分的愤慨。由于采用化学液抛光的金属，一般来说需要经过多重浸泡和清洗，直至***后烘干。但是，手动抛光机镜面，有一点，想必大家都晓得，化学液通常对***的伤害都是极大的，假如用化学液抛光的话，即使是怎样清洗，一直还是会有残留的。化学液抛光过的物件不只仅是对运用者会有身体上的危害，还会对抛光的工人有伤害，由于在抛光过程中会产生酸雾或***气体，不利于工人安康及环境维护。就从这一点看的出来，真的还会有人辩护采用化学液体抛光厨具，手动抛光机操作，会比磨光技术安全吗？金属外表磨光固然相对化学液抛光平安，但是呢？传统的抛光机一般都需求单独腾出一间抛光车间来抛光，由于抛光就是将金属外表的粗糙面磨掉，依据工件的外表处理要求，改换不同硬度的抛光轮，停止粗磨、中磨、精磨。所到达***终的想要的目的。为什么要传统抛光需单独分开一个房间呢？是这样的，由于之前传统的抛光会形成车间的粉尘飞散，一个粉尘堆积的状态，对环境形成很大的污染，同时对抛光的操作人员的身体也形成极大的危害（也就是职业病：***病的产生），所以传统的抛光机由现代科技的改良，逐步有了自动化控制的抛光机，但是以往的自动抛光机固然处理了人工操作难以控制的难题，但是还是未处理粉尘传播的问题。所以宝亿科技自动化在很早期就针对这个进行了改进，只要在抛光机上加装一个防尘罩，可以有效的避免抛光粉尘的污染。大大的避免了抛光工人的健康危害。手动抛光机麻光|手动抛光机|宝亿科技由东莞市宝亿自动化科技有限公司提供。东莞市宝亿自动化科技有限公司（）在机械及工业制品项目合作这一领域倾注了无限的热忱和***，宝亿科技一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以品质、服务来赢得市场，衷心希望能与社会各界合作，共创成功，共创辉煌。相关业务欢迎垂询，联系人：黄小姐。)