{***空气过滤器检漏}方法——高空气过滤器检漏检测方法——气溶胶光度计测试法气胶光度计测试法是***早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（AerosolPhotometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，现改用PAO,加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数，是主要关注的气流测试项目。微粒计数器测试法半导体业方面，早期也是使用DOP/PAO与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现PSL因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前***广为使用的标准微粒。静态洁净室的检测(OQ)本阶段的检测至少应完成下列各项工作:1、确认洁净区划分原则是否符合要求。使用时只要把PSL溶液雾化，导入滤网上游即可洁净室检测检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计，至少要检查下列各点:1、洁净室设备的成套性;2、一切能源载体和工艺介质的供应(水、电、蒸汽、压缩空气、气体等)是否符合设计;3、公用和辅助设备功能运转是否正确;4、所以控制系统，监控器，报警和警报器等的检定(检查)日期;5、安装质量;6、安装过滤器(***终过滤器)的完整性;7、电源和设备是否有备份，其中包括空气处理设备的风量余量;8、压差;9、气流特性(单向气流--流速，均匀性和气流方向);10、维护结构的密闭性;11、检查循环空气与室外空气的比例是否符合设计;12、表面洁净度;13、包装中是否有备件。检查HEPA(ULPA)过滤器的完整性具有重要意义，此项检查对ISO6级、ISO5级及更别的洁净室来说尤其必要。应检查表面洁净度及维护结构的密闭性(对ISO1级~ISO5级的洁净室特别重要)。检测可在洁净室工作过程中进行(重复检测);发生下列各项后需进行重复检测:1、洁净室达不到给定参数的原因已消除;2、与使用条件例如洁净室的使用有较大差异(如改变工艺流程等);3、空气长时间停止流通(进风)而影响洁净室工作;4、做了影响洁净室工作的个别维护或修理工作，如更换HEPA过滤器以后)