低温泵低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的极限压力低、抽气速率大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。抽气原理在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。温度为20K时，除氦、***和氢外，其他气体的蒸气压也低于10-8帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同，泵的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器，低温板为20K时，泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。类型低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。①注入式液氦低温泵：主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。磁控溅射镀膜的特点：磁控溅射镀膜技术通过磁场的加入，改变并延长电子的运动轨迹，使其能与***气充分的碰撞，电离出更多的Ar轰击靶材，从而提高了溅射速率；受到正交电场和磁场共同作用的电子，在能量基本耗尽时，才沉积到基片上，避免了基片的温度上升。这就造就了磁控溅射的两大优点：溅射速率高，基片温度低。另外，通过磁控溅射工艺得到的薄膜与基片的附着力强，薄膜的牢固度很强。)